北京开发区微电子产业集群显山露水_8
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摘要:继中芯国际二期项目奠基开工后,开发区集成电路产业集群再次传来好消息,北方微电子公司承担的国家重大科技专项刻蚀机项目研发取得重大进展并实现产业化,北京中电科电子装备

  继中芯国际二期项目奠基开工后,开发区集成电路产业集群再次传来好消息,北方微电子公司承担的国家重大科技专项刻蚀机项目研发取得重大进展并实现产业化,北京中电科电子装备有限公司(以下简称中电科)所承担的国家重大科技专项全自动引线键合机实现批量化销售,为开发区乃至北京市集成电路产业集群规模化发展增添新的推动力。

  高密度等离子刻蚀机是超大规模集成电路制造的核心工艺装备,从100纳米到28纳米,北方微电子通过自主创新突破多项关键技术,填补了我国在集成电路高端核心装备制造业的空白,为我国高端集成电路装备的自主开发奠定了基础。第四代32/28nm硅刻蚀机已于上月进入中芯国际上海TD工厂,年底前将完成28nmSTI工艺技术开发,并完成中芯国际北京二期扩产项目的产品技术验证。

  全自动引线键合设备则是极大规模集成电路封装生产线后道工序最为重要和关键的设备,同时也是封装生产线上需求量最大的设备,其重要性与难度可以与前道工序的光刻机相提并论。此前键合机全球每年约15000台的需求量,国内每年需求量近10000台,但没有一台是国产设备。中电科继在国内首先研制成功试验样机后,又率先实现了产业化的突破,在日前,接到了批量化订单,为即将召开的党的十八大献上了一份厚礼!我国从六五计划起就研制全自动引线键合机的征程终于有了一个可以预期的完美收尾。预计2013年,北京中电科公司将投产键合机500台,实现产值1.8亿元。

  据悉,截至目前,开发区电子信息产业已经成功打造了以诺基亚为龙头的移动通讯产业集群、以京东方为龙头的显示器产业集群、以中芯国际为龙头的集成电路产业集群,电子信息产业产值去年占全市总值的比例达到50%。随着中芯二期项目的实施、北方微电子、中电科集成电路装备的规模化量产,必将进一步夯实开发区电子信息产业的基础,培育形成新的经济增长点。

  从样机到商品机再到批量化销售中电科全自动引线键合机实现产业化

  一次性就订了10台设备。去年进驻开发区的北京中电科电子装备有限公司上下一片喜气洋洋,公司所承担的国家重大科技专项02专项课题全自动引线键合机实现了批量化销售,这也意味着,经过一年多的努力,全自动引线键合机终于从实验成果实现了产业化,填补了我国在该技术领域的空白。

  全自动引线键合是集成电路等行业后道工序最为重要的工艺设备。2011年初,中电科完成了试验样机的研制,不过,这只是万里长征的第一步,要能满足客户的需求,研制出商业化机型还有很长的路要走:24小时连续作业,每停留一小时,都会给客户生产线带来不可挽回的损失;与进口设备现场PK,全球每年约15000台的需求量,国内近10000台的需求量,没有一台国产设备这一切都需要国产设备保持极高的稳定性、可靠性和工艺适用性,否则被客户退回来以后,更难进入这个行业。

  人才是科技发展的第一推动力。这个时候,国家千人计划成员、中电科集团公司首席专家陈文博士站出来了,他带领中电科键合机项目组攻关团队开始了为期一年多的工艺摸索、考核、验证,用汗水完善了900多张机械图纸,200多万行软件代码,顺利掌握了核心技术,键合头、大推力直线电机、音圈电机、换能器、光路、断线检测、驱动电源、电子打火等系统通过自主研发,实现了突破。整机系统能满足客户个性化的需求,并最终超越课题任务的要求,完成了任务书要求的金线焊接,还开发了焊铜线、合金线、银线技术。

  9月初,当长电科技和南通富士通为我们完成验证,证实产品完全满足生产线工艺需求时,我们终于松了一口气。陈文感慨地说,这意味着我们拿到了将商业化机推向市场的通行证。

  不过,压力并未彻底解除,键合机商业化机型开发成功了,但键合机市场长期被美日及新加坡企业所垄断,下游厂家从经理到操作人员都对国产设备抱以怀疑态度,打开市场极其困难。项目组成员没有气馁,始终坚信只要做出客户需要的产品,就能打开市场,客户需要试用设备,项目组就抓住机会,亲自送设备上门,用良好的服务和稳定可靠的表现争取合同。

  付出总有回报,日前,中电科终于迎来了北京燕东微电子有限公司首批10台的销售合同以及多家企业的采购意向,预计到明年公司将投产键合机500台,实现产值1.8亿元。

  32/28纳米进入技术验证北方微电子刻蚀机研发取得突破性进展

  在完成100纳米刻蚀机产业化,使得我国芯片制造核心装备实现中国创造之后,北方微电子公司日前传来消息称,公司承担的国家重大科技专项02专项90/65nm刻蚀机研发与产业化、32/22nm硅刻蚀机研发与产业化项目研发也相继取得重大进展并实现产业化,公司营收今年将突破2亿元。

  据介绍,北方微电子研制的第一代65nm刻蚀机于2008年3月进入中芯国际北京工厂,已经通过生产线的全流程工艺验证,全部技术指标达到国际主流技术水平,2011年与中芯国际一次签订5台批量采购意向。第三代65/45nm刻蚀机于2012年8月进入中芯国际北京工厂,目前已经开始用于55nmSTI工艺芯片的量产。第四代32/28nm硅刻蚀机已于上月进入中芯国际上海工厂,年底前将完成28nmSTI工艺技术开发,并完成中芯北京二期扩产项目的产品技术验证。

  成立于2001年的北方微电子公司,从成立之初就开始承接国家十五863计划集成电路制造装备的开发。5年后,北方微电子研发的100纳米8英寸高密度等离子刻蚀机进入大生产线开始用于量产。2008年开始,北方微电子承接十二五《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》重大专项,并展开包括12英寸高密度等离子刻蚀机、铜互连PVD等高端半导体设备的研发和生产,同时进行LED领域ICP刻蚀机、ITOSPUTTER溅镀设备和MOCVD(LED外延片生产设备)等高端设备的开发,直接对垒国际巨头,试图填补中国在高端半导体设备上的空白。

  目前,北方微电子通过刻蚀机的技术拓展,已经成功开发完成用于LED半导体照明芯片制造的PSS图形化衬底刻蚀机和GaN电极刻蚀机。自2010年开发完成进入市场,目前已经累计销售50余台,国内市场占有率达到50%以上,成功应用于三安、同方、德豪、合肥蓝光、华磊光电、迪源光电、华灿光电、圆融光电、新广联光电等主流LED芯片企业。此外,2012年开发完成MEMS及光通信领域的深硅等离子刻蚀机,其优异的工艺性能已经受到业内用户的广泛关注,已经销售给北京大学、复旦大学、中国物联网中心等研究机构,目前累计收入超过3亿元,到2015年底累计销售收入将达到10亿元。

作者:admin 来源:未知 发布于2019-06-24 14:10
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